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上海新阳购入ASML光刻机用于研发193nm Arf干法光刻胶

继中芯国际续单ASML光刻机后，3月8日，上海新阳（300236）公告称，经各方积极协商、运作，ASML-1400光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京

中国电子报、电子信息产业网
2021年03月10日
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